開催概要
SISS-19附設講座:SIMS基礎講座 (SISS-19ご参加登録の方は無料で聴講可能です)
SIMSを判り易く、また基礎から学べる講座を開催いたします。
開催日
2017年5月10日(水) 10:00~17:30 (9:15受付開始)
場所
京都市勧業館みやこめっせ(大会議室)
プログラム
10:00-10:50
1.基調講演
新たな産業応用を切り拓く次世代SIMS技術
京都大学 松尾二郎
10:55-12:25
2.SIMS基礎講座 ~基本の基本~
1)Static SIMS基礎講座 ~SIMSの強みと弱みの実態をお教えします~ TOF-SIMSの特徴
アルバック・ファイ株式会社 飯田真一
2) Dynamic SIMS基礎講座 Dynamic-SIMSとは(仮)
アメテック株式会社 三輪司郎
13:20-14:50
3.SIMS基礎講座 ~応用技術:SIMSとSIMSに関連する分析技術~
1)Static SIMS関連 TOF-SIMSによる応用解析事例
株式会社東レリサーチセンター 柴森孝弘
2)Dynamic SIMS/3DAP関連
~3DAPおよびD-SIMSを用いた p-GaN中のMgアクセプタにおける高感度・高分解能分析~
東芝ナノアナリシス株式会社 内田博
15:10-16:30
4.表面分析の最新技術 (メーカーセッション)
1) 当社TOF-SIMSの特徴・最新技術紹介
アルバック・ファイ株式会社 鈴木隆彦
2) カメカ社製品ご紹介
アメテック株式会社 趙成洙
3) イオンオプティカ社の製品紹介
シエンタ・オミクロン株式会社 富塚仁
4) FILMER ~FIB-TOF-SIMS & レーザーSNMS って何?~
株式会社トヤマ 高野明雄
5) エバンスが開発したPCOR-SIMSって、何?
ナノサイエンス株式会社 新宮一恵
6) ION-TOF社製 TOF-SIMS5 ~最新技術を含めた機能紹介~
株式会社日立ハイテクサイエンス 伊澤智香
7) SIMS関連製品ご紹介
エルミネット株式会社 社本利行
8) Xe+プラズマイオン銃搭載FIB-SEM ~Helios PFIB DualBeamの紹介~
日本エフイー・アイ株式会社 村田薫
*当該項目は10分/件
*本研究会は日本語での開催となります。
*本研究会終了後に懇親会(別会場:懇親会参加費 ¥2,000)を実施いたします。
*本研究会は5/11-12開催のSISS-19の附設講座となります。当該講座は無料ですが、ご参加いただくには、当研究会への登録のほかに別途SISS-19へ参加登録(有料)が必要です。(一般 ¥5,000、学生 ¥2,000)
ご注意:
1. SIMS研究会9 受付において SISS-19 の参加受付を行います。
2. 受付時に SISS-19 参加費及びご名刺を2枚ご準備下さい。